1800年,F(xiàn)?W?赫歇爾發(fā)現(xiàn)紅外輻射時(shí)使用的是水銀溫度計(jì),這是較原始的熱敏型紅外探測(cè)器,它是紅外技術(shù)發(fā)展的先導(dǎo)。1830年以后,相繼出現(xiàn)溫差電偶的熱敏探測(cè)器、測(cè)輻射熱計(jì)等。
進(jìn)入19世紀(jì),科學(xué)家使用熱敏型紅外探測(cè)器,認(rèn)識(shí)了紅外輻射的特性及其規(guī)律,證明了紅外線與可見(jiàn)光具有相同的物理性質(zhì),遵守相同的規(guī)律,即它們都屬電磁波,具有波動(dòng)性,波長(zhǎng)是特征參數(shù)并可以測(cè)量。
20世紀(jì)初開(kāi)始,測(cè)量了大量的有機(jī)物質(zhì)和無(wú)機(jī)物質(zhì)的吸收、發(fā)射和反射光譜,證明了紅外技術(shù)在物質(zhì)分析中的價(jià)值。
20世紀(jì)30年代,首次出現(xiàn)紅外光譜代,之后發(fā)展成在物質(zhì)分析中不可缺少的儀器。40年代初光電型紅外探測(cè)器問(wèn)世,以硫化鉛紅外探測(cè)器為代表的這類探測(cè)器,其性能優(yōu)良、結(jié)構(gòu)牢靠。50年代半導(dǎo)體物理學(xué)的迅速發(fā)展,使光電型紅外探測(cè)器得到新的推動(dòng)。
到60年初期,隨著固體物理、光學(xué)、電子學(xué)、精密機(jī)械和微型致冷器等方面的發(fā)展,紅外技術(shù)在軍、民兩用方面都得到了廣泛的應(yīng)用。60年代中葉起,紅外探測(cè)器和系統(tǒng)的發(fā)展體現(xiàn)了紅外技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展方向,具體來(lái)看有四點(diǎn):
1、在1~14微米范圍內(nèi)的探測(cè)器已從單元發(fā)展到多元,從多元發(fā)展到焦平面陣列。
2、紅外探測(cè)器的工作波段從近紅外擴(kuò)展到遠(yuǎn)紅外。
3、產(chǎn)品向非致冷、集成式、大面陣紅外探測(cè)器方向發(fā)展。
4.紅外探測(cè)系統(tǒng)從單波段向多波段發(fā)展。
進(jìn)入21世紀(jì),由于各種應(yīng)用需要的出現(xiàn),促使新的探測(cè)器件和輻射傳輸方式產(chǎn)生,推動(dòng)了紅外技術(shù)向更先進(jìn)的方向發(fā)展。